威廉姆斯的演讲刚结束,史密斯就举手提问:"博士,您提到中微在等离子体控制算法上有独特创新,这与ASML的技术路线有何本质区别?"

会场瞬间安静。李一凡知道,这是美国调查组精心准备的陷阱。如果威廉姆斯说技术完全不同,就等于否定自己在ASML的研究成果；如果承认有相似之处,又会被质疑技术转移。

但李一凡早有准备。昨晚他专门找威廉姆斯沟通过,现在看着对方从容不迫的样子,他知道这个老牌工程师已经完全理解了自己的意图。

"很好的问题。"威廉姆斯走到投影屏幕前,调出一张复杂的技术路线图,"让我用这张图来解释。ASML在等离子体控制上采用的是经典的PID控制理论,这在90年代就已经成熟。但中微另辟蹊径,开创了基于机器学习的自适应控制系统。"

他快速在白板上写下一串数学公式:"这是传统PID控制的局限,而这个..."他又写下一个更复杂的方程,"是中微的创新突破。从数学本质上看,两者是完全不同的技术路径。"

台下的调查组专家们交头接耳,细细研究那些方程。李一凡注意到,技术专家詹姆斯的表情有了明显变化。

"更重要的是,"威廉姆斯继续说道,"这种自适应算法让14nm刻蚀机在精度和稳定性上实现了质的飞跃。去年在台积电的测试数据可以证明这一点。"

他投影出一组对比数据,精确到小数点后六位。这些都是真实的测试结果,每一个数字都经得起推敲。

"史密斯先生,"威廉姆斯直视着提问者,"我在ASML工作时就提出过类似的创新设想,但并未被采纳。而在中微,我看到了将这种突破性理念转化为现实的可能。这正是我选择加入的原因。"

史密斯还想继续追问,这时一个意外的声音打断了他。

"我来补充几句。"德国西门子半导体前总裁汉斯·克劳斯站了起来,"作为第三方,我可以证明中微的技术路线确实具有独创性。事实上,我们最新的光刻胶配方就是专门针对这种创新算法开发的。这种配合才创造了纳米级的精确控制。"

李一凡嘴角微扬。这正是他昨天和克劳斯密谈的成果。有了这位德国权威的背书,调查组的质疑就更难立足了。

但真正的杀手锏还在后面。日本东芝研究院院长山本浩二拿起话筒:"我注意到中微在专利申请上的一个细节。他们最早的等离子体控制专利是在2008年提交的,那时威廉姆斯博士还在ASML。这证明他们的技术创新是完全独立的。"

会场响起一阵议论声。这个时间点太关键了。李一凡平静地看着史密斯,后者的脸色变得有些难看。显然,调查组之前并未注意到这个细节。